光刻Track设备-【上海众鸿半导体设备有限公司】

上海众鸿半导体 2011 年 1 月于上海成立，是聚焦半导体黄光光刻核心环节的上海市高新技术、上海市专精特新企业，临港新片区重点企业，在临港钻石园建设制造中心，拥有万级、千级洁净车间，具备涂胶显影 Track 设备研发、整机制造、再制造翻新改造全链条能力。在核心技术产品方面，公司自研的涂胶显影设备广泛应用于半导体芯片制造的关键环节，且已实现规模化量产，为行业提供稳定可靠的设备支持。

自研产品矩阵包含 ZHT‑150、ZHT‑200、ZHT‑300、HST‑300 全系列全自动涂胶显影 Track（Coating Develop Equipment）设备，同时提供涂胶显影再制造、TRACK 设备翻新改造业务；设备覆盖 4 寸、6寸、8 寸、12 寸晶圆，适配硅基、碳化硅 SiC、氮化镓、砷化镓、滤波器晶圆、功率器件、光电子器件、先进封装等场景，可用于半导体黄光车间、前道光刻、化合物半导体产线。全系列支持 SECS 通信、AMHS/OHT 天车、TRMS、EAP、FDC/SVID 数据输出，冷热板、旋涂、显影单元可按需配置；机械手针对翘曲晶圆做专项优化，显影槽解决背污缺陷。除全新自研整机之外，还提供 MK‑7.8 等机型再制造翻新、产线工艺调试、设备驻场技术支持，设备通过 SEMI2、F47、E78 相关标准认证，可对接台积电、中芯国际、积塔、士兰微等产线，兼顾新建产线设备供货与老旧 Track 设备翻新改造，可针对功率器件、厚胶工艺、多品种小批量特色工艺做软硬件定制开发，为晶圆厂提供光刻配套涂胶显影一体化解决方案。

硬件层面设备取得SEMI系列标准认证，旋涂转速、烘烤温控精度满足厚胶等严苛工艺；软件开放度高，客户工程师可自主编辑工艺配方。再制造业务可对进口老旧Track设备翻新改造，解决备件停产难题。

服务上提供前期工艺评估、方案定制、联机验证配合、驻场工艺调试，本土团队缩短响应周期，可根据功率器件、SiC厚胶、多品种小批量产线做专项定制，零部件国产化降低后期备件采购成本；交付之后可提供长期运维、工艺迭代升级服务，区别于单纯设备供应商，兼顾全新设备交付、旧机翻新改造、工艺联合调试，降低晶圆厂的采购、维保与供应链风险，助力半导体黄光产线国产化落地。

如需确认具体规格、货期与报价，欢迎联系：上海众鸿半导体设备有限公司 18501740049，地址：上海市浦东新区南汇新城镇沧海路2828号7栋。我们将根据实际需求提供选型建议与供货方案，具体参数以实物为准。