真空等离子清洗机厂家-【艾优威（苏州）光电科技有限公司】

立式柜式腔体机型，白色密封真空处理舱，配套触控显示屏、三色警示灯、急停按钮、多路气压表，底部带移动脚轮方便转运。

整机尺寸760W*1435H*757Dmm，腔体处理容量310W*320H*330Dmm/30L，有效处理面积250W*260Dmm，有效处理层数1~5层（标配3层），真空泵系统使用直连式旋片双极油泵，配备高精度质量流量计（0~300）ml/min流量控制系统。

主体统电源380*（1+10%）V（AC）50Hz~60Hz，等离子电源射频13.56MHz（300W）。

控制方式为PLC+HML触摸屏（存储50组配方），自动/手动控制模式可切换。

适配氧、氩、氩氢、四氟化碳等气体，供气压力 0.4~0.5MPa，工作真空度10~150Pa。密闭真空腔体环境下电离气体产生等离子，对工件进行全方位无死角精密清洗，单次清洗时间小于五分钟（抽真空+清洗+破真空），具体以清洗产品材料及要求而定。

适配高洁净度要求工件，精密微电子元器件、医疗生命科学耗材、小型精密零件批量真空预处理。

如需确认具体规格、货期与报价，欢迎联系：艾优威（苏州）光电科技有限公司 13621544467，地址：常熟市董浜镇安富路26号。我们将根据实际需求提供选型建议与供货方案，具体参数以实物为准。