硅化钽-【北京华威锐科化工科技有限公司】

纯度≥99.9%，粒度可定制为纳米级或微米级，外观呈灰黑色粉末。核心具备低电阻率、高熔点、强高温抗氧化、优异扩散阻挡特性。核心用于半导体7nm/5nm及以下制程Salicide栅极、接触层等；航空航天用于发动机高温叶片涂层、C/C复合材料防护；还用于MEMS、功率器件及高温电热元件。批次稳定，杂质极低，工艺适配性强，可定制生产并提供技术支持。

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