LED外延托盘-【浙江六方半导体科技有限公司】

LED 外延托盘，也叫 MOCVD 外延载盘，以高纯石墨作为基材，采用 CVD 化学气相沉积工艺在表面生成致密 SiC 防护涂层，是 LED 外延设备腔体内部承载蓝宝石衬底的核心热场部件。产品适配 Mini‑LED、常规 LED 的 GaN 外延生长工况，盘体支持单片、多片结构，可实现 354″、364″、41*4″大承载槽位定制，主流尺寸覆盖 4 英寸，涂层高厚度可达 100μm，长期工作温度可至 1600℃以上。

配套服务包含：结合客户 MOCVD 设备腔体参数完成盘体外形、槽位排布、涂层厚度、表面粗糙度的定制开发；提供石墨基材纯化、超精密 CNC 加工、CVD‑SiC 涂层沉积、多道无尘超声清洗、GDMS 杂质检测、真空洁净封装全流程加工；配备应用技术人员对接产线实际工况，将客户工艺诉求转化为内部设计、工艺、品控执行方案；与甬江实验室协同开展高温热循环、气体腐蚀工况模拟验证；同时提供托盘使用后检测评估，输出维护、复涂的参考建议。

成品附带杂质、尺寸、外观全套检测报告，严格管控金属杂质释放与颗粒脱落，降低外延片黑点、波长偏移、膜厚不均等缺陷风险，面向 LED 芯片制造企业、外延代工企业、设备厂商供货，适配研发线以及大批量量产产线使用。

如需确认具体规格、货期与报价，欢迎联系：浙江六方半导体科技有限公司 18857159586，地址：浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道千禧路9号9号楼。我们将根据实际需求提供选型建议与供货方案，具体参数以实物为准。