六方科技 2018 年成立,创业团队拥有碳基材料长期研究积累,将 LED 用 CVD‑SiC 涂层外延托盘作为起步核心业务。发展早期,国内 LED 量产产线所使用的高性能外延托盘大多依靠境外出货,订货周期长,大尺寸非标定制响应有限,推高国内芯片企业耗材运营成本。 创业初期团队规模较小,从零搭建 CVD 工艺试验平台,需要攻克涂层应力控制、石墨高纯纯化、大尺寸盘体沉积均匀度多项难点,经过大量试验迭代工艺参数。2019 年完成 SiC 涂层 LED 外延托盘样品落地,逐步获得市场验证机会。2021 年企业加入浙江省集成电路产业协同创新平台;2022 年与甬江实验室共建热场材料创新中心,借助科研平台进一步打磨涂层工艺,搭建多条量产产线,实…
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