蓝宝石抛光机-【深圳市方达研磨技术有限公司】

主要用途：

本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、碳化硅、锗片等半导体材料的精密抛光

• 设备原理及特点：
• 1、本设备为单面精密抛光设备，采用先进的机械结构和多种先进控制方法，抛光加工效率高，运行稳定。
• 2、整机采用PLC 触摸屏控制系统，设备参数设置和操作简单方便，系统运行稳定性高。
• 3、主电机采用变频调速控制，实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击，减少工件损伤。
• 4、工件研磨压力采用整体气缸加压方式，通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制，保证极高的施压精度与稳定性。
• 5、上压盘采用伺服马达主动驱动方式，在确保产品抛光速率的前提下保证各工位抛光加工的统一性。
• 6、抛光盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证抛光液发挥最大效率的同时减少抛光盘面的变形。
• 主要技术参数：

型号

• FD-7104PA
• FD-8104PA
• FD-9104PA

抛光盘规格

• 700mm
• 810mm
• 910mm

工件盘直径

• 260mm
• 305mm
• 360mm

工件盘压力

• 30~150kg
• 30~150kg
• 30~150kg

加压方式

气缸加压

气缸加压

气缸加压

工作气压

• 0.4-0.6MPa
• 0.4-0.6MPa
• 0.4-0.6MPa

工件盘转速

• 5.60rpm(max)
• 5.60rpm(max)
• 5.60rpm(max)

抛光盘转速

• 0-80rpm
• 100rpm(max)
• 0-80rpm

主电机功率

• 4KW/380V
• 7.5KW/380V
• 7.5KW/380V

压盘电机功率

• 0.4KW/380Vx4
• 0.4KW/380Vx4
• 0.4KW/380Vx4

设备工位数

• 4个
• 4个
• 4个

设备外形尺寸

• 1200x1700x2300mm
• ≈1150x1050x2200mm
• ≈1250x1150x2200mm

设备重量

• 2100KG
• 2300KG
• 2350KG

如需确认具体规格、货期与报价，欢迎联系：深圳市方达研磨技术有限公司 13622378685，地址：深圳市光明区公明街道上村社区元山工业区B区第34栋202、(B区)2700033号101。我们将根据实际需求提供选型建议与供货方案，具体参数以实物为准。