铜抛机厂家-【深圳市方达研磨技术有限公司】

应用范围：

本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、碳化硅、锗片以及其他半导体材料的单面精密研磨。

• 设备原理及特点：
• 1、本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和多种先进控制方法,研磨加工效率高，运行稳定。
• 2、整机采用PLC 触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统运行稳定性高。
• 3、主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击,减少工件损伤。
• 4、工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。
• 5、上压盘采用主动驱动方式,在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。
• 6、研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。
• 7、设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01mm的盘面平整度。
• 主要技术参数：
• 型号 FD-7104XA FD-8104XA FD-9104XA
• 磨盘规格 700x250x12mm 810x255x12mm 910x250x12mm
• 陶瓷盘直径 240~260mm 305mm 360mm
• 主电机功率 5.5KW/380V 7.5KW/380V 7.5KW/380V
• 压盘电机功率 0.4KW/380Vx4 0.4KW/380Vx4 0.4KW/380Vx4
• 修整电机功率 0.2KW/380V 0.2KW/380V 0.2KW/380V
• 主电机转速 10-100rpm(max) 5-90rpm(max) 5-90rpm(max)
• 设备工位数 4个 4个 4个

修盘方式       自动修盘机                  自动修盘机                自动修盘机

设备规格 1050x1950x2300mm 1200x2200x2500mm 1200x1800x2300mm

设备重量 2100KG 2350KG 2500KG

如需确认具体规格、货期与报价，欢迎联系：深圳市方达研磨技术有限公司 13622378685，地址：深圳市光明区公明街道上村社区元山工业区B区第34栋202、(B区)2700033号101。我们将根据实际需求提供选型建议与供货方案，具体参数以实物为准。