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长沙制造

品牌故事

湖南艾科威半导体装备有限公司成立于 2015 年,自创立之初便锚定半导体装备自主可控的发展目标,深耕半导体装备研发、生产与销售领域十余年。公司坚持自主创新,以资深专家带领的研发团队为主要成员,累计攻克多项行业卡脖子技术,拥有 60 余项发明专利,打造出国内首台 VCSEL 立式湿法氧化炉等标志性产品,填补了国内行业装备的短缺。依托 “研发 + 工艺 + 制造” 一体化体系,艾科威始终以客户需求为导向,为集成电路、光通信、3D 传感等领域的 300 余家企业与科研院所提供高品质装备与全流程解决方案,助力半导体产业产学研协同创新。未来,公司将持续攻坚下一代半导体制造技术,矢志成为全球领先的半导体设备与系统方案供应商,为中国半导体产业高质量发展注入本土力量。

公司简介

湖南艾科威半导体装备有限公司专注于半导体装备的研发、生产与销售,产品覆盖 6~12 寸卧式与立式炉管设备(含氧化、扩散、退火、合金、固化等工艺)、磁控溅射镀膜设备、干法刻蚀设备、激光封焊设备等核心半导体制造装备,其中自主研发的 VCSEL 立式湿法氧化炉打破了海外品牌在该领域的长期垄断,实现了重要氧化装备的国产自主化突破。公司面向集成电路、分立器件、5G 通信、光电器件、传感器等泛半导体领域的生产企业与科研院所,提供从工艺认证、研发打样到量产落地的全流程装备解决方案,支持个性化定制服务,配套产品的安装调试、工艺指导与售后运维支持,助力客户实现产线升级与技术迭代,为国内半导体产业自主可控提供核心装备支撑与技术服务。

产品与服务特点

兼顾宣传力度与合规性,适配绝大多数推广场景 主要技术自主可控:拥有 60 余项发明专利,由具备国家 级半导体研究机构背景的博士、高级工程师团队带领研发,重要产品性能达到国际同类产品先进水平,打破海外品牌长期技术垄断格局,可有效实现国产替代。 全链条设计制造能力:自建 “研发设计中心 + 微纳加工实验室 + 总装工厂” 一体化体系,配套 1500㎡高标准净化间验证平台,可实现从方案设计、精密加工到工艺验证的全流程自主把控,依托高标准质量体系保障设备稳定性与交付效率。 设备与工艺深度融合:秉持 “研发 + 工艺” 双轮驱动理念,可根据客户细分领域的特殊工艺需求定制装备方案,配套行业工艺技术支持,帮助客户大幅缩短产线调试周期、提升量产良率。 全周期服务保障:覆盖售前方案定制、售中安装调试、售后运维升级的全流程服务体系,本土团队快速响应客户需求,大幅降低设备停机风险与运维成本。

资质与信誉

1、国家高新技术企业 2、拥有 60 余项半导体装备相关发明专利 3、国内首台 VCSEL 立式湿法氧化炉研发单位,性能可对标国际主流品牌同类型设备 4、已服务华为、光迅、卓胜微、芯联集成、BOE、中车、中电科等 300 余家行业头部企业,科研客户覆盖 90% 以上半导体领域 “双一 流” 高校。 5.重点布局第三代半导体(SiC/GaN)装备、量子芯片工艺设备,

合作客户

1.某头部光通信器件企业:客户原有氧化工艺设备依赖进口,存在交付周期长、运维成本高的痛点。艾科威为其提供定制化立式氧化炉设备与全流程工艺支持,设备性能指标达到进口设备同等水平,采购成本降低 40% 以上,交付周期缩短 60%,助力客户实现装备国产替代,产线良率长期稳定在行业先进水平。 2.某双一 流高校微纳实验室:高校需搭建半导体工艺实验平台,用于科研教学与国家课题研究。艾科威为其提供氧化炉、退火炉、磁控溅射等成套实验设备与配套工艺认证服务,协助实验室完成平台搭建与工艺体系建立,支撑多项国家科研课题顺利落地,累计助力发表高水平学术论文十余篇。 3.某半导体传感器生产企业:客户扩产新增薄膜沉积工艺产线,对设备镀膜均匀性与量产稳定性有极高要求。艾科威为其提供定制化磁控溅射镀膜设备与全流程工艺解决方案,设备量产一致性达标率 99.5% 以上,帮助客户顺利完成产线扩能,产能提升 30%,单位生产成本显著降低。

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