上海众鸿半导体设备有限公司

上海众鸿半导体创立于 2011 年 1 月，成立早期，公司主营半导体设备维修、涂胶显影 Track 设备再制造翻新改造业务，深耕国内各大晶圆厂现场，充分掌握产线真实工艺痛点与设备工程化落地难点。2018 年正式成立自研攻关小组，启动国产涂胶显影 Track 设备研发；2019 年临港设立研发中心，吸纳海外资深技术专家强化研发力量；2021 年临港钻石园制造中心建成投产，洁净车间投入使用，首台自研 ZHT‑200 设备实现客户交付，标志国产自研 Track 设备实现从 0 到 1 突破。2023 年 ZHT‑200 获得批量订单，同时完成超 7000 万 A 轮融资，启动 12 寸 ZHT‑300 设备研发。2024 至今，持续拓展清洗、炉管等半导体设备产品线，加速 12 寸机型客户端验证，持续扩大国产半导体设备产业化规模。 企业先后获评上海市高新技术企业、上海市专精特新企业、临港新片区重点企业，入选上海市科委技术创新资金项目，为 SEMI 会员单位，斩获 SEMI‑e 芯科技风云榜年度优质供应商、湾芯奖半导体设备创新奖、IC Future 芯生力企业奖等行业荣誉，通过 ISO9001 质量管理体系认证。 从早期做设备维保再制造，到实现 4‑8 寸涂胶显影设备批量量产，再向 12 寸前道设备攻坚，众鸿立足本土，聚焦黄光光刻涂胶显影关键装备，直面半导体设备卡脖子难题，致力于为国内硅基、化合物半导体、功率器件产业链提供高可靠国产 Track 设备，向着半导体核心装备国产替代的企业目标持续前行。

上海众鸿半导体 2011 年 1 月于上海成立，是聚焦半导体黄光光刻核心环节的上海市高新技术、上海市专精特新企业，临港新片区重点企业，在临港钻石园建设制造中心，拥有万级、千级洁净车间，具备涂胶显影 Track 设备研发、整机制造、再制造翻新改造全链条能力。在核心技术产品方面，公司自研的涂胶显影设备广泛应用于半导体芯片制造的关键环节，且已实现规模化量产，为行业提供稳定可靠的设备支持。 自研产品矩阵包含 ZHT‑150、ZHT‑200、ZHT‑300、HST‑300 全系列全自动涂胶显影 Track（Coating Develop Equipment）设备，同时提供涂胶显影再制造、TRACK 设备翻新改造业务；设备覆盖 4 寸、6寸、8 寸、12 寸晶圆，适配硅基、碳化硅 SiC、氮化镓、砷化镓、滤波器晶圆、功率器件、光电子器件、先进封装等场景，可用于半导体黄光车间、前道光刻、化合物半导体产线。全系列支持 SECS 通信、AMHS/OHT 天车、TRMS、EAP、FDC/SVID 数据输出，冷热板、旋涂、显影单元可按需配置；机械手针对翘曲晶圆做专项优化，显影槽解决背污缺陷。除全新自研整机之外，还提供 MK‑7.8 等机型再制造翻新、产线工艺调试、设备驻场技术支持，设备通过 SEMI2、F47、E78 相关标准认证，可对接台积电、中芯国际、积塔、士兰微等产线，兼顾新建产线设备供货与老旧 Track 设备翻新改造，可针对功率器件、厚胶工艺、多品种小批量特色工艺做软硬件定制开发，为晶圆厂提供光刻配套涂胶显影一体化解决方案。 硬件层面设备取得SEMI系列标准认证，旋涂转速、烘烤温控精度满足厚胶等严苛工艺；软件开放度高，客户工程师可自主编辑工艺配方。再制造业务可对进口老旧Track设备翻新改造，解决备件停产难题。 服务上提供前期工艺评估、方案定制、联机验证配合、驻场工艺调试，本土团队缩短响应周期，可根据功率器件、SiC厚胶、多品种小批量产线做专项定制，零部件国产化降低后期备件采购成本；交付之后可提供长期运维、工艺迭代升级服务，区别于单纯设备供应商，兼顾全新设备交付、旧机翻新改造、工艺联合调试，降低晶圆厂的采购、维保与供应链风险，助力半导体黄光产线国产化落地。

上海众鸿涂胶显影Track系列设备，构建自研整机+再制造翻新双重业务能力，依托中韩融合研发团队，掌握机械手、冷热板、旋涂显影单元、软件控制系统核心技术。 ZHT-150产品优势： 1.支持G-line，I-line工艺 2.一体化设计，设备占地小、稳定性高 3.100mm/150mm 两种产品兼容 4.可根据客户需求进行设备配置 5.零部件国产化，性价比高 6.支持TRMS,EAP自动化挂系统 7.支持SECS通信 8.特別设计机械手克服产品翘曲问题 9.显影槽特别设计克服背污问题 ZHT-200产品优势： 1.支持光刻机Canon,Nikon,ASML对接 2.前道支持KrF,ArF工艺；后道支持I-line,PI工艺 3.可根据客户需求进行设备配置 4.150mm/200mm两种产品兼容 5.支持复合板，支持循环水控温冷板 6.支持工艺参数数字化收集 7.支持TRMS,EAP自动化系统 8.支持SECS通信和AMHS系统 9.有SVID输出，支持FDC 10.支持OHT天车 ZHT-300产品优势： 1.支持光刻机Canon,Nikon,ASML对接 2.前道支持KrF,ArF工艺；后道支持I-line,PI工艺 3.自研高精度冷热板，满足高精度制程需求 4.叠加式结构布局，单位面积产出高 5.可根据客户需求进行设备配置 6.零部件国产化，大幅降低成本 7.支持TRMS,EAP自动化系统 8.支持SECS通信和AMHS系统 9.有SVID输出，支持FDC 10.支持OHT天车 应用领域：硅基 PI工艺，先进封装等领域。 HST-300产品优势： 1.支持光刻机Canon，Nikon，ASML对接 2.前道支持KrF，ArF工艺；后道支持I-line、PI工艺 3.五层叠加框架结构，占地面积小 4.采用全新架构，WPH＞250 5.20个Spin单元，60个冷热盘 6.可根据客户需求进行设备配置 7.支持TRMS,EAP自动化系统 8.支持SECS通信和AMHS系统 9.有SVID输出,支持FDC 10.支持OHT天车

上海众鸿半导体为上海市高新技术企业、上海市专精特新企业、临港新片区重点企业，临港新片区 2023 企业研发创新机构，SEMI 会员单位，项目入选上海市科委技术创新资金计划清单；先后斩获 SEMI‑e “芯” 科技风云榜年度优质供应商、SEMIBAY 湾芯奖 2024 年度半导体设备创新奖、IC Future2025 年度芯生力企业奖、临港东方芯港明日之星等多项行业权威荣誉，企业通过 ISO9001 质量管理体系认证，自研涂胶显影设备通过 SEMI 2、F47、E78 标准认证。公司 2021 年在上海临港钻石园建成自有制造中心，厂房面积 6846㎡，配置 756㎡万级洁净车间、322㎡千级洁净车间，具备整机装配、测试、老化全流程生产条件；创始人金浩天深耕半导体设备行业二十余年，搭建中韩融合研发团队，积累近百项设备相关专利，完整掌握机械手、高精度冷热板、旋涂显影单元、工厂自动化软件等核心技术。产品矩阵覆盖 ZHT‑150、ZHT‑200、ZHT‑300、HST‑300 自研涂胶显影整机以及 Track 设备再制造翻新业务，设备已完成多家头部晶圆厂客户端工艺验证并实现批量交付。目前，公司的主要客户涵盖台积电、中芯国际、士兰微、积塔半导体、芯联集成、三安、通富微电、斯达、立昂东芯等半导体产业链中头部企业；多次参加 IC CHINA、SEMI 等国内半导体行业展会，面向行业展示国产涂胶显影 Track 设备技术实力，可向客户完整提供企业资质文件、设备 SEMI 认证报告、专利证书、客户端验证报告，满足晶圆厂招投标、产线设备准入审核全部合规材料要求，依托上海临港总部，建立本土技术服务团队，可提供设备交付、联机调试、驻场工艺支持、后期维保全流程技术保障。

上海众鸿自研涂胶显影 Track 系列设备及再制造服务，广泛应用于硅基芯片、碳化硅 SiC、氮化镓、砷化镓化合物半导体、功率器件、滤波器、光电子器件、先进封装等黄光制程产线，覆盖新建产线整机采购、老旧设备国产化替换、进口设备再制造翻新多种项目类型。 国内某化合物半导体龙头企业引入众鸿 ZHT‑200 涂胶显影设备，用于碳化硅功率器件厚胶工艺生产，设备整体稳定性满足量产标准，本土技术团队驻场配合工艺调试，快速解决工艺适配问题，有效弥补进口设备在特色工艺定制方面短板，实现 SiC 晶圆稳定量产。 某 8 寸特色工艺 IDM 半导体厂商，首批 ZHT‑200 设备完成产线量产验证之后，选择追加采购多台设备；该客户高度认可设备软件高开放度，内部工程师可自主编辑调试工艺配方，本土备件供应与现场技术支持大幅降低产线运维压力。 国内滤波器制造企业项目建设工期紧张，众鸿快速完成定制化 ZHT‑200 设备交付，保障项目按期投产，设备可灵活支撑多品种滤波器晶圆切换生产，充分匹配企业产能扩张需求。 此外 ZHT‑200 设备成功用于光波导感知芯片制造项目，完成严苛客户端工艺验证，拓展光电子新兴制造场景；设备批量落地士兰微、积塔半导体、芯联集成等 IDM 与特色工艺产线，分别适配功率器件、MEMS 传感器等不同工艺。 针对存量产线，众鸿提供 MK‑7.8 等进口涂胶显影设备再制造翻新改造服务，帮助晶圆厂解决老旧机型原厂备件停产难题，盘活现有产线资产。依托临港本土研发制造与服务团队，众鸿除设备供货之外，同步提供联机验证配合、工艺联合调试、驻场技术支持与长期运维服务，既有头部大厂批量采购，也支持中小特色工艺晶圆厂的定制化项目，在化合物半导体、功率器件细分赛道积累大量国产 Track 设备量产落地实践经验。 现有合作客户有：台积电，中芯国际，士兰微，三安，通富微，积塔，斯达，合肥芯研，芯投微，芯谷微，立昂东芯，伯恩，瑞声等。

客户 A｜国内化合物半导体龙头 “众鸿 ZHT-200 很好适配我们 SiC 厚胶工艺需求，设备整体稳定性满足量产，团队驻场配合工艺调试响应速度快，有效弥补进口设备在特色工艺定制上的短板。” 客户 B｜8 寸特色工艺 IDM 厂商 “首批设备顺利量产之后，我们选择追加采购。设备软件开放度高，工程师可以自主调试配方；本土售后与备件支持，大幅降低产线运维压力。” 客户 C｜滤波器制造企业 “项目建设周期紧张，众鸿完成定制设备交付，保障产线投产进度，设备可支撑多品种产品切换生产，满足我们产能扩张需求。

金浩天，上海众鸿创始人、董事长兼总经理，深耕半导体设备行业二十余年。凭借中韩产业资源优势，打通日韩半导体设备圈人脉，引进海外资深技术专家，搭建中韩融合研发团队。从业经历覆盖设备备件维修、产线技改、二手设备再制造，完整走完 “服务吃透设备 — 逆向消化技术 — 正向自主研发” 的发展路径，深谙晶圆厂现场工艺痛点与工程化落地难点。