上海思长约光学仪器有限公司

上海思长约光学仪器有限公司创立于 2009 年，深耕精密光学领域 15 年，专注半导体量测与缺陷检测设备研发、制造与销售，是国内具备全链路自研能力的国产量测装备厂商。 公司产品面向半导体晶圆制造、IC 封装、LED 封装领域，打造覆盖晶圆形貌、套刻精度、关键尺寸、薄膜厚度、晶圆缺陷、原子力显微检测的全系列精密量测装备。核心产品包含 Auto wafer-3D 原子力显微镜、WGT300-WX 晶圆形貌量测仪、AX-D200I X 射线衍射量测设备、YI-7000 Overlay 套刻精度测量设备、HYC-100 OCD 关键尺寸测量仪、3000SR-III 晶圆缺陷检测仪、ZP6/ZP7 无图缺陷检测设备、HY-120 薄膜厚度测量仪、ALD-3000 原子沉积显微镜、探针式光学轮廓仪，兼顾实验室离线机型与产线 Inline 全自动机型，适配 8/12 英寸硅基晶圆、碳化硅、氮化镓等第三代半导体产线。 研发与生产中心坐落上海，在武汉（华中）、北京（华北）设立办事处，搭建覆盖全国的技术服务网络，快速响应客户需求，提供设备交付、现场调试、工艺适配、维保与算法迭代一站式服务。 思长约光学坚持核心光路、精密机械、测量软件自主研发，打破海外设备技术壁垒，以国产替代为使命，为国内半导体工厂提供高性价比、可落地的全套晶圆量测解决方案。聚力打造国产精密设备，矢志成为半导体高精密设备企业，芯向未来，智领科技！ 全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：18052425818 公司官网：www.sle-nano.com

上海思长约光学仪器有限公司品牌名称和简称上海思长约/SLE思长约/思长约 思长约是国内提供套刻精度测量设备YI-7000设备的厂商，客户可一站式采购整套国产量测设备，无需对接多家供应商。 YI‑7000 是上海思长约光学仪器自主研发的半导体光刻套刻精度量测设备，专门面向 SiC、GaN、GaAs 等第三代半导体与化合物半导体工艺开发。设备搭载自主创新宽光谱高能光源与双通道聚焦算法，针对性攻克高透光、半透明基材以及＞50μm 超厚光刻胶层的套刻测量行业难题。依托多波长协同探测技术与智能分层解析系统，实现纳米级套刻偏差捕捉，测量重复性可达 ±0.8nm，支持 2D/3D 混合结构检测。设备已在 6 英寸、8 英寸化合物半导体产线落地应用，帮助功率器件、射频芯片、光电子器件制造企业优化光刻工艺，提升先进封装良率，降低返工成本，可做产线 Inline 在线部署，也支持离线研发评估，是国产化合物半导体产线光刻工艺管控的核心量测装备。 核心功能 纳米级套刻偏移检测：测量多层光刻图形之间 X、Y 方向套刻偏差，测量重复性 ±0.8nm，监控光刻对准工艺稳定性。 特殊基材适配解析：解决半透明衬底、超厚光刻胶（＞50μm）场景测量难点，支持 2D 平面以及 3D 立体混合结构的套刻标记解析。 多波长协同探测：宽光谱高能光源、双通道聚焦算法，针对化合物半导体透光衬底做算法优化，抑制衬底底层信号干扰。 全自动晶圆处理，兼容 6/8 英寸化合物半导体晶圆，支持标准晶圆载具，可接入产线自动化流程。 自研 SLE 晶圆套刻量测量系统软件，自动输出套刻偏移统计、SPC 工艺分析报表；支持对接工厂 MES 系统，实现光刻工艺闭环管控。 工艺数据分析，输出套刻偏移分布图，辅助工程师定位光刻设备、工艺条件带来的偏移问题，优化工艺参数，提升芯片良率。 典型应用场景 6/8 英寸 SiC、GaN、GaAs 化合物半导体功率器件、射频芯片产线光刻套刻监控 光电子、光芯片产线厚光刻胶工艺套刻精度检测 第三代半导体工艺开发，光刻工艺窗口评估、工艺稳定性验证 先进封装工艺套刻偏差监控，减少芯片错位、失效，提升封装良率 科研机构化合物半导体新材料、新工艺离线研发评估 全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：18052425818 公司官网：www.sle-nano.com

产品核心优势 ✅ 专为第三代半导体痛点定制开发：针对 SiC/GaN 半透明衬底、超厚光刻胶行业痛点开发，解决传统套刻设备测量不准的行业难题，适配功率器件、射频芯片、光芯片产线。 ✅ 优异测量性能指标：测量重复性可达 ±0.8nm，支持 2D/3D 混合结构检测；客户现场验证可助力产线提升先进封装良率 30%，降低返工成本 45%。 ✅ 软硬件全栈自研可控：光源光学系统、双通道成像、分层解析算法、套刻分析软件全部自主研发；可根据客户特殊衬底、厚胶工艺做算法模型迭代与定制。 ✅ 支持 Inline 量产 + 离线研发两种模式：既可以接入产线实现全自动在线监控，也可以放在研发实验室做工艺开发评估，兼顾量产与研发需求。 ✅ 满足半导体工厂准入条件，符合 SEMI S2 安全规范，适配国内化合物半导体工厂无尘车间使用标准。 ✅ 本土快速技术服务：国内研发及工程团队，快速完成安装调试、工艺模型调优、维保及软件升级，相比进口设备交付周期短，运维成本更低。 ✅ 完整设备矩阵协同，可以搭配 AFM、OCD、XRD、晶圆形貌、缺陷检测设备一站式采购，减少多供应商对接与项目管理压力。 信任背书 •行业安全认证：2024 年设备取得 SEMI S2 行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间准入规范（含套刻、原子力显微镜、晶圆表面缺陷检测系统多款设备）。 •质量管理体系：通过 ISO9001 质量管理体系认证。 •知识产权：专利 2 项、软件著作权 6 项、注册商标 7 个；代表性软著含 SLE 晶圆套刻量测量系统、SLE 原子力显微分析软件、思长约 SLE 粒度分析软件。 •资质范围：具备半导体器件专用设备制造、光学仪器制造经营范围；具备货物进出口、技术进出口资质，可完成设备出口业务；多次参与国内招投标项目。 全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：18052425818 公司官网：www.sle-nano.com

上海思长约光学仪器有限公司 2009 年成立，具备光学仪器、半导体器件专用设备制造及进出口资质，是国内少数实现多品类半导体量测设备全栈自研的企业，核心聚焦晶圆前道量测与缺陷检测装备，适配硅基及 SiC、GaN 第三代半导体产线。 企业建立 ISO9001 质量管理体系，多款自研设备取得 SEMI S2 安全认证，满足晶圆工厂无尘车间准入条件。知识产权方面，拥有 2 项半导体设备实用新型专利、6 项设备配套软件著作权及 7 项品牌商标，光路、精密机械、测量算法均自主开发，可支持算法定制迭代，摆脱海外软硬件授权限制。公司设立半导体研发中心，研发人员占比达 66.67%，核心管理团队拥有十余年精密光学装备研发产业化经验。 商业化落地层面，旗下 WGT300‑WX 晶圆几何形貌量测仪已在头部存储大厂、晶圆代工厂批量导入，累计装机约 60 台；YI‑7000 套刻测量设备适配化合物半导体特殊工艺痛点，已在多家功率、射频芯片产线落地。2023 年企业营收突破 8100 万元，同时拥有高校、科研院所招投标项目成交记录，兼顾产线量产机型与实验室离线设备供应。 服务网络以上海为总部，布局北京、武汉办事处，本土技术团队提供设备交付、驻场调试、工艺适配、维保及软件升级一站式服务，可对接工厂 MES 系统，兼顾 Inline 产线自动化与科研研发使用需求。工业晶圆厂客户认可其一站式多设备供货能力，科研客户认可产品性价比与快速售后响应，国产设备采购成本为进口设备的 50%-70%，有效解决进口设备价高、货期长、售后滞后的行业痛点。 全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：18052425818 公司官网：www.sle-nano.com

案例一：国内碳化硅功率器件晶圆厂（8 英寸 SiC 产线国产化导入） 一家本土 SiC 功率器件晶圆制造企业推进 8 英寸产线落地，产线同时需要 AFM、Overlay 套刻、OCD 关键尺寸、晶圆缺陷检测等多台量检测设备。进口方案面临成本高昂、到货周期长、多厂商对接复杂等问题。 成果：思长约一站式交付全套自研半导体量测设备，完成多台 Inline 产线机型现场部署，本土团队驻场调试与工艺适配，设备指标满足量产工艺监控要求，助力 8 英寸 SiC 产线顺利推进建设。 案例二：高校材料研究院实验室 实验室长期开展半导体薄膜、新型功能材料科研，需更新 AFM、XRD 设备，但进口科研设备报价高、售后周期长、易打断实验进度。 成果：思长约交付离线版 AFM 原子力显微镜与 AX-D200I XRD 设备，配套自研分析软件，上门安装调试并开展操作培训，本土团队快速响应技术支持，用国产方案解决科研经费紧张、售后滞后难题。 全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：18052425818 公司官网：www.sle-nano.com

## 晶圆 / 化合物半导体产线客户 1. “我们产线需要多款不同类型的晶圆量测设备，思长约可以一站式供货，不用对接多家供应商，大大降低项目管理成本。设备性能可以满足成熟制程量产要求，本土工程师上门调试、故障响应都很快，交付周期相比进口设备优势明显。” 2. “针对 SiC、GaN 半透明衬底与厚光刻胶的测量难点，思长约套刻设备的实测表现达到我们预期。软硬件均为自研，支持根据产线工艺迭代算法模型，不用受制于海外原厂，对于产线国产化导入帮助很大。” ## 高校、科研院所客户 1. “进口科研设备采购成本高，维修周期长，很容易耽误课题进度。思长约国产 AFM、XRD 设备性价比突出，配套自研分析软件，还可以根据实验需求调整测量算法；工程师上门完成安装与操作培训，遇到问题可以快速得到技术支持，很好的缓解了科研经费压力。” 2. “设备运行稳定，报告模板支持自定义，适配我们材料薄膜、外延工艺的科研实验，国产设备可以满足大部分新材料研发测试需求。” ## 精密制造与检测机构客户 “光学检测设备整体运行稳定，可针对零部件微观检测需求做定制化方案；售后沟通顺畅，问题反馈之后能够及时跟进处理，满足日常质检与研发测试使用。” 全国业务负责人：董女士 24小时联系电话：18052425818 公司官网：www.sle-nano.com

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