靶材定制加工厂家-【陕西欧凯利靶材股份有限公司】

钛靶材是磁控溅射常用靶材，分为平面钛靶与钛旋转管靶两大类，材质采用纯钛或钛合金。平面钛靶多为矩形、圆形，背面绑定无氧铜背板；旋转管靶为空心圆筒结构，可搭配法兰式钛衬管使用。氩离子轰击靶面沉积金属钛膜；通入氮气、氧气可反应溅射生成 TiN 氮化钛、TiO₂氧化钛功能薄膜。
常用牌号：TA1、TA2（GR1、GR2）纯钛；纯度 3N～4N5；尺寸、厚度、法兰结构可按设备图纸定制。
材料特性与加工工艺
材料特性
钛属于轻耐蚀金属，熔点 1668℃，比强度高，常温耐腐蚀性良好，无磁性，不会干扰溅射磁场。
金属 Ti 膜：打底粘附层、扩散阻挡层；
TiN 氮化钛膜：金色硬质膜，耐磨抗腐蚀；
TiO₂氧化钛膜：高折射率光学膜，具备光催化特性。
制备工艺
1. 坯料制备：钛锭锻造、轧制，真空去应力退火，调控晶粒，降低溅射颗粒；
2. 精密机加工：平面靶铣削、研磨抛光；管靶挤压、冷轧、外圆精车；
3. 绑定组装：平面靶采用铟焊绑定无氧铜背板；旋转管靶可钎焊在衬管外表面；
4. 后处理：超声清洗、真空除气、探伤、水压检漏，减少起弧与颗粒缺陷。
核心优势
1. 适配 DC 直流溅射，溅射工艺稳定，膜层附着力强；
2. 品类齐全，平面靶适合单片、小批量；旋转管靶适合大面积连续量产；
3. 可制备金属、氮化物、氧化物多种薄膜，应用场景广；
4. 原料供应稳定，相比铌、铪等难熔金属，成本更友好。
产品局限
平面钛靶刻蚀集中在跑道区，靶材利用率偏低；钛高温下易吸氢吸氧，坯料加工、热处理需要控制保护气氛。
典型应用
1. 装饰硬质镀膜：刀具、模具、卫浴五金，TiN 金色耐磨防护膜；
2. 光学镀膜：镜片、滤光片，TiO₂多层光学膜；
3. 半导体与 PCB：粘附层、阻挡层，提升金属层与基底结合力；
4. 建筑及汽车玻璃：Low-E 玻璃功能层；
5. 新能源：光伏器件、电池构件功能涂层；
6. 科研实验：薄膜研发试样。

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