溅射靶材厂家-【陕西欧凯利靶材股份有限公司】

多弧离子镀膜靶材，简称多弧靶，属于 PVD 阴极电弧靶材，外形多为圆柱块状圆饼（带水冷底座安装结构），区别于磁控溅射的平面靶、旋转管靶。工作时靶材作为阴极，真空下引燃阴极电弧，依靠弧斑瞬间高温熔化、电离靶材材料，产生高密度金属等离子体；通入氮气、氧气等反应气体，可生成氮化物、氧化物硬质膜。靶材底部配套水冷基座，带走电弧产生的大量热量。
主流材质：钛、铬、锆、铝、钛铝合金、铝铬合金等；纯度一般 3N~4N；直径、厚度、安装定位结构可按弧源图纸定制。
材料特性与加工工艺
材料特性
多弧靶优先选用致密度高、导电性能好、电弧起弧稳定的金属 / 合金材料；靶材需要承受阴极弧斑局部高温，材料晶粒均匀，电弧游走平稳，减少大颗粒液滴。
Ti 钛靶：制备 TiN 金色硬质膜，刀具模具最常用；
Cr 铬靶：CrN 银灰色耐磨防腐膜；
Zr 锆靶：ZrN 装饰金色膜；
TiAl 钛铝靶、AlCr 铝铬靶：耐高温硬质涂层，适合高温切削模具。
制备工艺
1. 坯料成型：真空熔炼或热等静压 HIP 制备高致密度坯料，降低内部孔隙，减少起弧爆点；
2. 精密机加工：车削成圆饼状，加工安装止口、密封面，保证与水冷底座贴合；
3. 表面处理：靶面抛光、去油污，保证引弧顺畅；
4. 探伤检测：内部缺陷检测，防止电弧烧蚀时开裂。
核心优势
1. 离化率高：可达 60%~90%，离子能量高，膜层和基体形成冶金结合，附着力强；
2. 沉积速率快，生产效率高；工件绕镀性好，复杂刀具、模具、异形五金均可镀膜；
3. 合金靶材种类丰富，可制备多种硬质、装饰膜层；
4. 靶材消耗相对均匀，利用率优于磁控平面靶。
产品局限
电弧弧斑会产生金属液滴（大颗粒），膜面粗糙度偏高；不适合要求镜面超光滑薄膜场景；镀膜过程腔体温度偏高，不耐高温基材受限；靶材需要持续可靠水冷，否则容易烧损。
区分要点：磁控溅射靠离子轰击溅射原子；多弧靶是电弧熔化电离材料，原理完全不同，靶材结构不能互换。
典型应用
1. 切削刀具、冲压模具：TiN、TiAlN、AlCrN 硬质耐磨涂层；
2. 五金卫浴、钟表装饰镀膜：TiN、ZrN 金色、CrN 灰色装饰膜；
3. 汽车零部件：耐磨、耐腐蚀功能涂层；
4. 精密机械构件：抗高温、抗磨损防护膜。

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