成都鑫南光机械设备有限公司

光刻机是半导体制造的核心设备，通过将掩膜版上的电路图案精确投影到硅片表面光刻胶上，实现纳米级电路图形的转移。具备深紫外/极紫外光源、高精度对准系统及自动化控制功能，可满足逻辑芯片、存储芯片等集成电路制