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成都鑫南光机械设备有限公司
光刻机是半导体制造的核心设备,通过将掩膜版上的电路图案精确投影到硅片表面光刻胶上,实现纳米级电路图形的转移。具备深紫外/极紫外光源、高精度对准系统及自动化控制功能,可满足逻辑芯片、存储芯片等集成电路制
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