浙江六方半导体科技有限公司

六方科技 2018 年成立，创业团队拥有碳基材料长期研究积累，将 LED 用 CVD‑SiC 涂层外延托盘作为起步核心业务。发展早期，国内 LED 量产产线所使用的高性能外延托盘大多依靠境外出货，订货周期长，大尺寸非标定制响应有限，推高国内芯片企业耗材运营成本。 创业初期团队规模较小，从零搭建 CVD 工艺试验平台，需要攻克涂层应力控制、石墨高纯纯化、大尺寸盘体沉积均匀度多项难点，经过大量试验迭代工艺参数。2019 年完成 SiC 涂层 LED 外延托盘样品落地，逐步获得市场验证机会。2021 年企业加入浙江省集成电路产业协同创新平台；2022 年与甬江实验室共建热场材料创新中心，借助科研平台进一步打磨涂层工艺，搭建多条量产产线，实现 SiC 涂层业务经营收支平衡。 企业没有直接照搬境外部件参数，结合国内 MOCVD 设备型号、国内产线实际工艺习惯，优化基材处理、槽位结构、涂层公差。后续产能持续扩张，LED 外延托盘实现大批量稳定供货。企业沿着 “研发迭代‑工况验证‑量产放大‑持续优化” 路径，为国内 LED 外延产线增加本土部件供给选项。

LED 外延托盘，也叫 MOCVD 外延载盘，以高纯石墨作为基材，采用 CVD 化学气相沉积工艺在表面生成致密 SiC 防护涂层，是 LED 外延设备腔体内部承载蓝宝石衬底的核心热场部件。产品适配 Mini‑LED、常规 LED 的 GaN 外延生长工况，盘体支持单片、多片结构，可实现 354″、364″、41*4″大承载槽位定制，主流尺寸覆盖 4 英寸，涂层高厚度可达 100μm，长期工作温度可至 1600℃以上。 配套服务包含：结合客户 MOCVD 设备腔体参数完成盘体外形、槽位排布、涂层厚度、表面粗糙度的定制开发；提供石墨基材纯化、超精密 CNC 加工、CVD‑SiC 涂层沉积、多道无尘超声清洗、GDMS 杂质检测、真空洁净封装全流程加工；配备应用技术人员对接产线实际工况，将客户工艺诉求转化为内部设计、工艺、品控执行方案；与甬江实验室协同开展高温热循环、气体腐蚀工况模拟验证；同时提供托盘使用后检测评估，输出维护、复涂的参考建议。 成品附带杂质、尺寸、外观全套检测报告，严格管控金属杂质释放与颗粒脱落，降低外延片黑点、波长偏移、膜厚不均等缺陷风险，面向 LED 芯片制造企业、外延代工企业、设备厂商供货，适配研发线以及大批量量产产线使用。

产品特点 1.耐高温耐腐蚀，隔绝基材侵蚀：致密 SiC 涂层隔绝工艺气体接触石墨基体，减少石墨粉尘脱落，在 LED 外延高温腐蚀环境下稳定工作，降低外延片颗粒缺陷发生概率。 2.低应力涂层，服役周期更长：依托自研 CVD‑SiC 沉积设备，采用分层变温沉积工艺，缓解涂层内部应力，降低反复升降温之后起皮、开裂风险；涂层厚度、粗糙度可控，盘体温场均匀性稳定，保障同批次外延片波长、膜厚一致性。 3.高纯管控，降低杂质干扰：石墨基材经过纯化处理，严格管控氮、各类金属杂质含量，减少高温环境下元素析出，帮助改善 LED 芯片成品良率。 4.灵活非标定制：支持槽位数量、槽型轮廓、盘体外形按需调整，可满足 41*4″这类大装载量盘体需求，适配市面多款主流 MOCVD 设备机型。 服务特点 1.全链路闭环制造：基材纯化、精密加工、CVD 涂层、清洗检测、封装主要环节企业内部完成，减少外部流转引入粉尘杂质。 2.工况协同迭代：可配合客户开展加速热循环老化测试，结合产线真实温度、气体条件迭代盘体与涂层工艺。 3.全流程可追溯品质管理：建立人机料法环完整记录，每批次交付配套检测文档，便于产线异常复盘；技术人员对接，提供托盘装配、使用维护技术参考。

企业资质与研发平台 企业拥有六十余项专利，覆盖涂层制备、基材纯化、精密加工方向；取得省内高新企业相关认定，纳入浙江省集成电路产业协同创新；与甬江实验室共建热场材料创新中心，协同开展外延托盘相关材料研究；配置 17 台 CVD‑SiC 沉积设备，搭配 GDMS、SIMS、四探针全套检测仪器，基材处理到成品检测实现内部完成。 合作客户情况 LED 外延托盘已经实现批量供货；整体合作客户覆盖 LED、硅外延领域多家行业内企业，包括三安光电、兆驰半导体、华灿光电等；同时和多家科研机构、外延代工企业建立业务往来，产品经过长时间产线实测验证。 资本与产业认可 获得产业链企业战略入股，同时获得创投机构投资；企业拥有百亩标准化生产基地，数十条生产线，具备大批量制造条件；企业纳税、经营状态合规，行业合作口碑平稳。

案例：国内 Mini‑LED 芯片外延企业 用户场景：4 英寸 Mini‑LED MOCVD 量产产线；原有外购托盘采购周期长，部分托盘经过几百炉次后出现涂层剥落，外延片波长一致性不足，良率有提升空间。 核心需求：多片式 SiC 涂层 LED 外延托盘，延长部件使用寿命，改善外延片波长、膜厚均匀性；缩短交付周期，降低耗材与停机成本，支持 36 片 4 英寸规格定制。 落地方案：定制对应规格多片式托盘；采用自研低应力沉积工艺，管控涂层粗糙度与盘体温场均匀性；出厂执行 GDMS 杂质检测，真空洁净封装；协同科研平台开展高温加速工况验证。 落地效果：交付周期得到缩短；托盘可承受炉次有所提升，外延片波长波动得到改善，芯片良率有所上涨，耗材采购成本下降，成为该企业稳定供货来源。 补充场景：LED 研发试验产线 用户场景：LED 芯片工艺研发产线，需要小批量非标托盘用于工艺调试； 需求：小批量定制特殊槽位的 LED 外延托盘，杂质可控； 落地方案：完成图纸转化、涂层沉积与全套检测； 落地效果：顺利完成上机调试，满足研发迭代的样品需求。

1.LED 外延企业采购负责人：过去长期使用海外外延托盘，交期不稳定，采购成本偏高。切换六方 LED 外延托盘后，供货周期可控，托盘实际使用寿命优于不少同类产品，外延片良率得到改善；技术人员响应及时，可配合调整盘体槽位、结构，降低产线耗材和停机损失，是我们重要的国产部件合作方。 2.外延产线工艺工程师：MOCVD 产线对外延托盘温场均匀性、杂质控制标准很高。六方的托盘批次稳定性较好，每一批次附带完整杂质检测报告；产线遇到使用疑问，沟通对接顺畅，可以协同定位良率波动相关问题。 3.产业链投资机构观点：国内同时布局 SiC 涂层、TaC 涂层的制造企业不算多；六方科技依靠自研 CVD 设备，LED 外延托盘产品已经实现大批量商业化交付，导入多家行业企业量产产线，在外延热场耗材细分赛道具备成长实力。 4.科研平台研究员：产学研合作过程中，企业可以快速把实验设想转化为实际托盘样件，检测资料完整，配合完成多组对比试验，缩短新材料部件从研发到上机验证的周期。

1.丰富产业本土部件供给：推进 LED 外延托盘 CVD 涂层工艺工程化与规模化生产，为国内 LED 外延产线增加部件供给选择，降低对境外出货渠道的依赖，助力供应链多元发展。 2.产学研成果落地转化：和甬江实验室协同，打通实验室材料研究向量产托盘转化路径；对外开放部分工况验证条件，帮助行业缩短新材料部件评估周期。 3.带动地方产业与人才就业：项目落地浙江诸暨，创造精密加工、CVD 涂层制造、洁净检测相关岗位；研发团队吸纳材料、机械类硕博与应届生，在项目实践中培养一批热场涂层、高纯基材处理、精密检测方向技术人员。 4.绿色生产与循环利用：生产车间配置尾气处理装置，CVD 工艺尾气做无害化处置；可为客户提供旧托盘检测评估，输出复涂技术参考，延长构件使用周期，减少物料消耗。 5.行业经验输出：企业人员参与行业技术交流，分享基材纯化、低应力 CVD 沉积工艺实践经验，带动国内外延热场部件行业工艺认知提升。

创始人、董事长兼 CTO 何少龙博士，2005 年取得浙江大学物理系博士学位，拥有近 20 年先进碳基、半导体碳化硅材料科研与产业化经验，获评浙江省产业发展人才、宁波市产业发展人才、绍兴市海外英才计划等荣誉称号，现任甬江实验室热场材料创新中心执行主任。 学术科研履历扎实，博士毕业后先后任职日本广岛大学讲师、日本国立材料研究所博士研究员，深耕高温半导体材料生长与物性研究；归国后进入中科院物理所、中科院宁波材料所，主持国家自然科学基金重点项目 1 项、面上项目 5 项，参与多项国家 973、重点研发计划，累计在 Nature Materials、Nature Communications 等国际业内知名期刊发表 30 余篇学术论文，单篇优于多数高引用超 800 次，多次受邀在美国半导体年会、香山会议等国际国内业内知名行业会议做特邀技术报告，在碳化硅、碳化钽涂层领域具备国际前沿理论积淀。 2018 年，洞悉国内半导体精密涂层零部件 “卡脖子” 产业痛点，放弃中科院科研岗位，扎根浙江诸暨创立浙江六方半导体科技有限公司，将实验室前沿材料技术落地产业化，带领团队从零搭建自研 CVD 涂层工艺、完整产线与检测体系。创业期间牵头联合甬江实验室共建热场材料创新中心，打通科研与量产壁垒，带领企业先后实现 SiC 涂层 LED 托盘、TaC 高温涂层零部件国产化突破，企业成长为国内专精特新 “小巨人”。 兼具科研视野与产业落地能力，兼顾技术创新与产业链责任，核心创业理念为 “以自研新材料补齐国内半导体产业链短板”，持续推动高纯碳化硅、碳化钽涂层技术迭代；主导企业两大生产基地规划建设，搭建 20 余人硕博研发团队，培育一批半导体新材料工艺、精密加工成熟人才；积极推动产学研协同，向行业开放高温涂层材料验证平台，助力国内半导体新材料行业整体技术升级，带领企业完成多轮产业资本融资，实现年营收规模化增长，推动国产半导体热场材料走向头部晶圆、外延企业量产产线。