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浙江六方半导体科技有限公司
LED 外延托盘,也叫 MOCVD 外延载盘,以高纯石墨作为基材,采用 CVD 化学气相沉积工艺在表面生成致密 SiC 防护涂层,是 LED 外延设备腔体内部承载蓝宝石衬底的核心热场部件。产品适配 M
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